Wojna trzydziestoletnia (1618-48) przyniosła ziemi śląskiej spustoszenie, działania wojenne i zarazy zdziesiątkowały ludność; upadło wiele miast. W wyniku wojen śląskich (1740^12 i 1744-45), toczonych przez Austrię i Prusy, Śląsk z wyjątkiem Cieszyńskiego, znalazł się w granicach Prus, a wojna siedmioletnia (1756-63) zadecydowała ostatecznie o pozostaniu Górnego Śląska w granicach państwa pruskiego.
Zmiana przynależności państwowej niekorzystnie odbiła się na życiu polskiej ludności Śląska, którą władze pruskie od samego początku starały się zgermanizować, m.in. poprzez kolonizację fryderycjańską, kiedy w rejony Sycowa, Namysłowa, Wołczyna, Kluczborka, Olesna, Opola, Koźla, Bytomia, Zabrza i Pszczyny napłynęła ludność rdzennie niemiecka. O nieskuteczności tej polityki świadczy to, że jeszcze w początkach XIX w. ludność Górnego Śląska była w większości polska, zwłaszcza na terenach wiejskich. Jedynie szlachta uległa w większości germanizacji lub wyzbyła się majątków na rzecz Niemców.
W XVIII i XIX w. wraz z powstaniem i rozwojem przemysłu na Górnym Śląsku rozpoczął się nowy etap osadnictwa. Do ośrodków przemysłowych, m.in. hut opartych na węglu drzewnym w Ozimku, Zagwiździu, Murawie, a później nowoczesnych ośrodków hutniczych, bazujących na węglu kamiennym w rejonie Gliwic, Zabrza, Chorzowa, Katowic, zaczęli napływać Niemcy. Rozbudowie małych zakładów i budowie nowych sprzyjał rozwój kolejnictwa.
Miasta rozrastały się, burzono mury miejskie. Zmieniała się również struktura rzemiosła, którego wyroby wypierane były z rynku przez tańsze produkty manufaktur i fabryk. W 2. poł. XIX w. w rejonie między Gliwicami, Bytomiem i Katowicami ukształtował się nowoczesny ośrodek przemysłu górniczo-hutniczego.
Połowa XIX w., a zwłaszcza okres Wiosny Ludów, przyniósł rozbudzenie ducha narodowego polskiej ludności Górnego Śląska.
Ustami swych posłów w Berlinie i Frankfurcie nad Menem (Krystiana Minkusa, Marcina Górzołki i ks. Józefa Szafranka) Ślązacy zaczęli się domagać wprowadzenia języka polskiego do szkół i urzędów. W Bytomiu ukazał się „Dziennik Górnośląski”, u w Oleśnie „Telegraf Górnośląski” redagowany przez Józefa I .ompę, pioniera ruchu narodowego na Śląsku, prześladowanego i znienawidzonego przez pruskie władze administracyjne. Upowszechnienie nauki pisanego języka polskiego (1848-70) poprzez system szkolny umożliwiło przetrwanie polskości w dobie bismarckowskiego Kulturkampfu (1871-78) i latach następnych.
W tych trudnych latach dzieło Józefa Lompy kontynuowali ks. Alojzy Ficek, Karol Miarka, Paweł Stalmach, Andrzej Cinciała, ks. Józef Londzin i wielu innych, którzy mimo zakazów organizowali życie polskie w zaborze pruskim i austriackim oraz podejmowali działalność wydawniczą w formie popularnych broszur i czasopism. Inicjatywa wydawania „Tygodnika Cieszyńskiego” (od 1848), później „Gwiazdki Cieszyńskiej” (od 1853) i „Katolika” (od 1869) przyczyniła się do łagodzenia antypolskich represji i konsolidacji narodowej społeczeństwa polskiego. W końcu XIX w. do grupy polskich czasopism na Górnym Śląsku dołączyły „Nowiny Raciborskie” (1889) i „Gazeta Opolska” (1890). Pierwsza redagowana przez Jana Karola Maćkowskiego (1865-1915), druga przez Bronisława Koraszewskiego (1864-1924).
Na przełomie XIX i XX w. powstało wiele polskich organizacji, wśród nich spółki o charakterze zapomogowo-pożyczkowym, rolniczym, towarzystwa śpiewacze, gimnastyczne, katolickie, których członkowie uczyli się języka polskiego, poznawali polską kulturę. To m.in. dzięki nim w szeregach powstańczych w 1. 1919-21 stanęły tysiące Ślązaków, a w plebiscycie pomimo terroru niemieckich bojówek i pracodawców oddawano głosy za Polską.
W końcu XIX w., wraz z rozwojem przemysłu ciężkiego na Górnym Śląsku, powoli zaczynała dojrzewać świadomość klasowa. Powstawały polskie i niemieckie organizacje polityczne i związkowe. Polska Partia Socjalistyczna zaboru pruskiego przeniosła swój dziennik „Gazetę Robotniczą” z Berlina do Katowic, aby być bliżej robotników. O jego głos i głos chłopa śląskiego walczyli w tym czasie centrowcy skupieni wokół „Katolika” Napieralskiego i endecy, których organizatorem był początkowo „Polak” i „Kurier Śląski”, a przywódcą Wojciech Korfanty. Po ugodzie z Napieralskim, organem śląskiej endecji od 1911 stała się „Gazeta Ludowa” wychodząca w Katowicach. Głosy śląskich robotników i chłopów oddawane na polskich posłów były niezbędne w każdych kolejnych wyborach do Reichstagu i sejmu pruskiego.
Z wybuchem I wojny światowej odrodziły się nadzieje na odzyskanie przez Polskę niepodległości. Rozpad monarchii Austro-Węgierskiej i klęska Niemiec stworzyły szansę powrotu Górnego Śląska do Macierzy. Na przełomie 1918 i 1919 powstała tajna Polska Organizacja Wojskowa, której zadaniem było zorganizowanie powstania.
Niekorzystna sytuacja międzynarodowa odrodzonego państwa polskiego nie pozwoliła na jego odbudowę w granicach etnicznych: o granicy południowo-zachodniej zadecydować miał plebiscyt.
Na Górnym Śląsku (teren rejencji opolskiej), gdzie miał odbyć się plebiscyt, rozegrało się wiele dramatów. Niemiecka administracja i jej siły porządkowe rozpoczęły nagonkę na organizacje polskie i jej działaczy. Mnożyły się akcje przemocy. Ginęli działacze polscy, wśród nich Wincenty Janas, Piotr Niedumy, dr Andrzej Mielęcki. Zwycięstwo powstania wielkopolskiego oraz pogorszenie się sytuacji ludności polskiej dały sygnał do wybuchu I powstania śląskiego w nocy z 16 na 17 VIII 1919. Nie w pełni przygotowane przez kierownictwo POW Górnego Śląska zakończyło się porażką. Od lutego 1920 Górny Śląsk nadzorowany był przez Międzynarodową Komisję Rozjemczą i Plebiscytową rezydującą w Opolu.